關鍵尺寸|特徵尺寸:在積體電路領域，特徵尺寸是指半導體器件中的最小尺。,房間緊鄰廚房

重要外形尺寸（Critical Dimension, 卡帶）便是MEMS組裝過程中均比較極其重要的的術語，主要就指稱的的在發微

多數石墨部件之內花飾體積介乎 0.1um 至 >100um間，此類圖樣體積要精確調節在一。

為客戶提供光電工業優秀晶片檢測所需要進行之重要尺碼測譬如一流芯片之線離、線寬及非輕薄聚合物長度，幫助增進電子元件優秀矽之數量量度產品品質，大幅提升積體電路良品率。

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